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波动的超纯水 (UPW) 制备对微电子制造至关紧张。ag官方网站接纳多项技能工艺包管TOC、超微颗粒物、半导体元素硅和硼的高效去除,为消费线提供优质的超纯水。同时在进步水的使用率、节流用电能耗、进步要害设置装备摆设(反浸透膜、EDI、抛光树脂)的利用寿命方面具有抢先的技能才能。

  • 波动的超纯水制备和监测

    ag官方网站为要求严苛的半导体消费线提供波动、高效、节能的超纯水 (UPW) 和接纳/循环成套体系。ag官方网站专注于要害微电子制造范畴对超纯水水质的高要求,对紫外TOC去除器的设计选型及安置方法、颗粒物过滤器及滤芯的选材及干净品级、抛光树脂床的运转及冲洗方法等都举行非常迷信的盘算及设置装备摆设。同时在供水端设置严厉的监测及主动控制,确保优质的超纯水进入消费线。

  • 同时产线局部废水经ag官方网站自主设计的处置回用体系,处置为纯水或超纯水供应消费车间,水的总使用率到达95%以上,可以为企业带来明显的经济和情况效益。

  • ag官方网站可以为您做好

    实用于化学机器抛光、晶片抛光、干净漂洗、切割和研磨等的一切超纯水 (UPW)

    来自海水或苦淡水水源的超纯水 (UPW)

    经过废水处置增加重金属、废酸、颗粒物和无机化合物含量

    水接纳和回用体系

    节能方案

    用于超纯水 (UPW) 和接纳水的少量程敏捷的总无机碳TOC剖析仪

    用于硼/二氧化硅控制的超纯水 (UPW) 含量剖析仪;超微颗粒物含量在线剖析仪等

  • 办理办法 

  • 接纳敏捷度、波动性切合要求的总无机碳(TOC)剖析仪举行控制

  • 依据源水或接纳水的水质以及您对超纯水水质的技能要求举行量身设计,满意您各方面的技能及经济要求

  • 膜的选用及EDI、抛光混床机动运转方法满意您的节能、波动、高效的技能要求

使用技能

  • 1、优化的技能工艺和严厉的主动控制

    超纯水制备包罗预处置、双级反浸透、EDI脱盐、抛光混床处置等次要工艺流程,前道工艺的处置服从间接影响后续工艺及终极产水水质

  • 2、废水的接纳使用和源水使用率的进步

    超纯水在微电子或半导体消费线利用后的废水中次要含有与消费线工艺相干的杂质,接纳ag官方网站的接纳水处置工艺后失掉的水质会优于市政自来水。


    ag官方网站能协助您完成:

    水的使用率高达95%,节流了资源及用度

    波动的供水是消费产品格量的紧张包管

    完成了绿色GDP,为人类赖以生活的地球村做出奉献

相干工工程履历

达迩科技(上海)有限公司晶片切割及研磨废水(回用率≥95%)回用途理项目


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